產(chǎn)品簡介： 通過用傳感器測量基板的應(yīng)變，可以實時測量鍍層的內(nèi)應(yīng)力。 可以通過一次測量來測量每個電鍍時間的應(yīng)力（膜厚）。另外，還可以測量已鍍過一次的膜再鍍時的應(yīng)力?？梢詼y量傳統(tǒng)應(yīng)力計無法檢測到的微小應(yīng)力。精密電鍍電源YPP系列的插槽中插入了專用的應(yīng)力計板。

特征
● 符合JIS H8626標準。
● 即使是微弱的應(yīng)力也可以測量。適用于測量薄膜、晶圓等弱產(chǎn)品。（從0.5μm以上的膜厚可以進行準確的測量）
● 也可以測量

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